高端STM系统
2018/4/19 17:44:41 中国科学院科技产业网

     所有者

     中国科学院物理研究所

     成果名称

     高端STM系统

     应用领域

     其他

     技术领域

     其他

     技术简介

     包括电阻加热型蒸发源、电子束加热型蒸发源、通用温控单元、多用途可移动高真空系统、升华泵电源、具有特殊功能的定制真空零部件、STM扫描头及成套STM系统等

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