高端STM系统
2018/4/19 17:44:41 中国科学院科技产业网
所有者
中国科学院物理研究所
成果名称
高端STM系统
应用领域
其他
技术领域
其他
技术简介
包括电阻加热型蒸发源、电子束加热型蒸发源、通用温控单元、多用途可移动高真空系统、升华泵电源、具有特殊功能的定制真空零部件、STM扫描头及成套STM系统等
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